洁净室空气洁净度检测

一、测量仪器-激光尘埃粒子计数器

粒子计数器的采集原理是基于光散射原理的，依靠光散射强度和微粒大小的规律，就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样只要测定散射光的强度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子计数器的基本原理。

二、采样点的位置及数量

  (1)测定洁净度的每次小采样量;

  (2)每个洁净区少采样次数为3次，每次持续1分钟，当洁净区有一个采样点时，则在该点至少采样3次;单向流时，采样探头指向气流。如果气流方向不确定，采样探头应垂直向上，采样位置高度大约在0.8～1.5米高度，为工作区高度，采样点的选择要确保均匀分布洁净室或洁净区域。

  (3)粒子计数器一般按流量分为0.1CFM(2.83L/min)、1CFM(28.3L/MIN)、50L、100L等标准流量，大部分情况下洁净室每次采样1分钟，每个采样点采样3次，3个采样点以上时，每个采样点可以采样2次。空气洁净度等级的粒径范围应为0.1μm—5.0μm，ISO14664要求每个采样点的采样量至少为2升，采样时间少为1分钟。采样前需要计算少采样点数，可以按照《洁净厂房设计规范》GB50073-2013中提供的公式进行计算。

  (4)对预期空气洁净度等级达到4级或更洁净的环境采样量很大可采用ISO14644-1附录F规定的顺序采样法。

三、技术要求

  (1)每个采样点的平均粒子浓度Ci应小于或等于洁净度等级规定的限值;

(2)全部采样点的平均粒子浓度N的95%上限值应小于或等于洁净等级规定的限值。

四、操作过程及判定

  (1)仪器开机后预热至稳定后，方可按照使用说明书的规定对仪器进行校正，自检、自校、零计数;

  (2)采样管口置采样点采样时在确认计数稳定后方可开始连续读数;

  (3)计数器采样口和仪器的工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差;

  (4)对于单向流洁净室采样口应对着气流方向对于乱流洁净室采样口宜向上采样速度均应尽可能接近室内气流速度;

  (5)记录数据评价。

五、洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意的问题

  (1)静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态;

  (2)对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始;

  (3)必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定;

  (4)每个采样点可按所计算确定的小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于小采样量。

  (5)测定时，进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室，在室内尽量处于下风处并静止少动。

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